Edwards分子泵机组

  • 2022-02-18 15:05:27
  • 来源:上海万库真空设备有限公司

Edwards分子泵机组

应用

· 一般实验室应用

· 光谱学

· 表面分析

· 小型镀膜系统

· 真空涡轮制造

特性与优势

· 完全组装,随时可用

· 通过集成的控制器控制涡轮泵、前级泵和可选的真空计

· NW40、ISO63 或 CF63 入口法兰

· 选择前级泵、E2M1.5 油封泵 T-Station 75W 或 XDD1 隔膜泵 T-Station 75D

· 延时涡轮启动选件,以便泵送更大容量

技术数据

N2 抽速

NW40

42 ls-1

ISO63/CF63

61 ls-1

N2 压缩比

>1 x 1011

50Hz 时的前级泵速度

E2M1.5

1.6 m3h-1

XDD1

1.2 m3h-1

极限压力

<5 x 10-8 mbar

进气口法兰

NW40、ISO63 或 CF63

排气口法兰

E2M1.5

11mm OD 喷嘴或 3/8 英寸 BSP

XDD1

装配消音器或 1/8 英寸 BSP

重量

E2M1.5

22 kg / 48 lb

XDD1

18 kg/40 lb

噪音级别

55.4 dB(A)

密封性

<1 x 10-6 mbar ls-1

工作温度范围

10 至 40°C/50 至 104°F

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