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常规干燥装置还必须与冷凝装置、过滤装置等结合起来组成干燥系统，这样以来会导致系统占地面积大，制作、安装工艺都比较复杂，而且干燥物质及滤料需定期更换，运行成本也随之增高。反之，若采用半导体制冷干燥装置，则上述问题迎刃而解半导体制冷干燥装置与常规干燥系统相比有如下优点：（1）只须接通电源就可进行制冷干燥；（2）不需要辅助材料，小型化；（3）装置的工作能力可通过改变工作电压来调节，易于控制；（4）在处理小气量时，与常规干燥系统相比造价特别低；（5）制作、安装、维修方便。
原料气中的水蒸汽、粉尘进入臭氧发生系统后的危害。水蒸汽的危害（1）原料气中含有水蒸汽会对设备、管道等产生腐蚀作用。原料气中含有水蒸汽，会导致臭氧的发生量减少，二氧化氮的发生量增加。二氧化氮与空气中的水蒸汽在氧化环境下会生成硝酸，对设备、管道等产生腐蚀作用。
（2）原料气中含有水蒸汽会使臭氧发生系统失去工作能力。臭氧发生系统中的工作电压为高频高压，若原料中水蒸汽的含量达到一定程度，放电间隙会充满水蒸汽介质，导致电极发生短路，臭氧发生系统失去工作能力。本装置还可应用于电子元器件的冷却，特殊场合的热流体的冷却降温，血浆、血清、生物药品的低温保存和运输以及其它一些不适合采用常规方法进行制冷、干燥的场合。
