今天，中华干燥网小敏给大家介绍一下（气体）4路质子混气管式PECVD系统-OTF-1200X-50-4CLV-PE，以下（气体）4路质子混气管式PECVD系统-OTF-1200X-50-4CLV-PE的内容是小敏网上整理，希望对您有用。
技术参数
实验机理 | 辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍 | ||||
产品特点 | 虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。下图显示的是PECVD法用500W交流等离子体与OTF1200X50、7通道精密质量流量计和高真空系统气体组成
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开启式管式炉 | 工作温度：1200℃炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器加热区长度：440mm恒温区长度：150mm功率：AC220V4KW | ||||
等离子射频电源 | 输出功率：50-500Wzui大可调±1%RF频率：13.56MHz的±0.005%稳定可调噪声：≤55DB冷却：风冷输入功率：1KWAC220V | ||||
真空泵和阀门 | 采用KF25系列波纹管和精密针阀连接真空度可达10-3torr数字真空压力表可直观的显示数值可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5至 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。 | ||||
质量流量计 | 内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量气体流量范围为0-200误差为0.02%一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入进气口：采用标准双卡套接头 | ||||
细节图展示 |
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外形尺寸 | 炉体：550*380*520mm供气及真空系统：600*600*597mm净重：120KG | ||||
| 操作视频 | 多通道质量控制高真空PECVD管式炉系统 | ||||
质保期 | 一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件 | ||||
质量认证 | CE认证 | ||||
国家 | 名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置 编号：ZL-2011-2-0355777.1 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 |
