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PLASCALC-2000等离子监控系统描述
PLASCALC-2000等离子监控系统配有2048像元CCD高分辨率的光谱仪，等离子体光辐射测量范围为200-1100nm，PlasCalc-2000进程控制系统精确可靠，其精密的数据采集和控制算法格外具有优势，对PC的模拟和数字输入输出功能也简化了进程控制过程。PlasCalc-2000及其软件系统在数据采集和信号处理上非常方便，波长、测量模式编辑器可以迅速产生有效的测量模式及各种测量模式的组合，适合于控制系统。
PlasCalc-2000参数
200-1100nm光谱的范围
1.0nm全高半宽分辨率14位I/O D/A转换8个TTL数字I/O端口4个0-10V模拟输出端口USB1.1接口
参数
多达6通道的宽带光谱数据采集每个通道都可以独立配置光谱范围小于0.3nm的光学分辨率16个TTL数字I/O端口8个1-10V模拟输出端口USB2.0接口
应用
通用过程监控表面清洁过程保护膜等离子体刻蚀等离子室设备健康水平监控非常规过程处理多晶硅平整化处理新的加工过程优化和监控
