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安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪特点:
安捷伦新的7500系列具有完全自动化的易于使用、灵活性、可靠性以及优秀的设计,它提供了分析性能。新的7500系列可配备第二代八级杆反应池(ORS)技术,提供多种选择的进样附件、好的应用与维修服务支持,它正在实验室进入ICP-MS时代。
ICP-MS分析特性:
● 可快速同时检测周期表上几乎所有元素
● 低的检出限(低至ppq级)
● 分析效益/成本比**
● 宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
● 谱线简单、干扰小,准确度和精密度好
● 需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1~3分钟/样品)
● 检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析:
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等
液体:超纯水;HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体:SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS可直接分析有机样品:
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。
● 对其中一些样品,其他方法无法得到满意的结果,高功率屏蔽矩冷等离子体技术是**的分析方法。
● 强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
● 常用有机溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等
● 高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性*的清洗剂——丙酮、甲醇等。
安捷伦7500型电感耦合等离子质谱仪应用:
● 环境样品分析,包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析;
● 半导体材料分析
● 玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析;
● 地质学研究;
● 生物食品及医药临床研究;
● 核材料分析
● 石油化工样品分析;
● 法医应用与研究;
● 近,与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。