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产品简介
KJ-SR 系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏 ITO 等镀膜厚度,PET 柔性涂布的胶厚等厚度,LED 镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。可用于测量 2 纳米到 3000 微米的膜厚,测量精度达到 0.1 纳米。 在折射率未知的情况下, 还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外, 用于jing确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在 1 毫米以内。
KJ-SR 进行测量简单可靠,实际测量采样时间低于 1 秒。配合我们的 Apris SpectraSys 软件进行手动测量,每次测量时间低于 5 秒。Apris SpectraSys 支持 50 层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的 材料数据库,同时可对折射率进行拟合。
同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果。
应用领域
半导体镀膜, 光刻胶;蓝宝石镀膜,光刻胶;太阳能镀膜剥离;卷对卷柔性涂布;车灯镀膜厚度;阳极氧化厚度;玻璃减反膜测量;ITO玻璃;各种衬底上的膜厚;PET镀层厚度等等
技术参数
产品型号
KJ-SR100
KJ-SR200
KJ-SR300
测试方式
可见光 VIS反射 (R)
紫外 + 可+UV+VIS反射 (R)
IR反射 (R)
波长范围
380 - 1050 nm
250 - 1050 nm
900 - 1200 nm
光源
钨卤素灯
钨卤素灯 + 氘灯
钨卤素灯
入射角
0 度 ( 垂直入射 ) (0 DEGREE)
参考光样品
硅片
光斑大小
About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置)
样品大小
10mm 到 300 mm ( 可以根据用户要求配置 )
测量范围
15nm-100um
2nm-200um
200nm-3000um
折射率(厚度要求)
100nm以上
50nm及以上
-
准确性
2nm或0.5%
精度
0.1nm